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前沿资讯!南大光电:多款ArF光刻胶产品正在下游客户处验证

时间:2023-04-22 02:40:16    来源:南财快讯


【资料图】

南大光电在互动平台表示,公司正在认证的ArF光刻胶主要集中在90nm~28nm工艺节点,目前有多款产品正在下游客户处验证。规模量产时间需要根据客户订单情况确定。公司制备ArF光刻胶的核心原材料由公司自主研发生产。

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